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閥體
SUS316L VAR不銹鋼雙重熔煉材料，用于超高純應用。
內表面粗糙度可達Ra 5 μ in，完全可清掃流道:
截流區Z小化;
便于吹掃;
流量Z大化。
隔膜
鈷基超級合金(UNS R30003)材料可提供高強度和耐腐蝕性能。
Z優設計，使用壽命長。
閥座
全封閉式閥座設計具有以下優點:
優秀的抗膨脹和防污染能力;
改進的氦氣泄露測試性能;
極少生產顆粒;
使用壽命長。
高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度半導體產業。
每一個產品出廠都經過氦氣測試。
技術數據
| 主要規格 | ||||
| 端接規格 | 1/4" | 3/8,1/2" | 3/4" | |
| 流量系Cv) | 0.27 | 0.7 | 1.7 | |
| Z高使用壓力 | 300pisg(20.6bar) | |||
| 工作溫度 | PCTFE | -40° C-80° C(-40° F-80° F) | ||
| PEA, Vespel | -26° C-177° C(-15° F-350° F) | |||
| 閥體內漏率 | 1x10?? sccs He | |||
| 閥體外漏率 | 1x10?? sccs He | |||
| 產品等級 | |||
| 等級 | BA | EP | SEP |
| 閥體材料 | SS 316L | SS 316L VAR | |
| 內表面粗糙度 | Ra 10μin | Ra 5μin | |
| 研磨 | 機械研磨加工 | 電解研磨加工 | |
| 清洗 | 脫脂清洗+精密清洗 | ||
| 包裝 | 單層 | 雙層 | |
| 產品材質 | |
| 閥體 | SS 316L/A479, SS316L / VAR/SEMIF20-0305 |
| 隔膜 | 鈷基超級合金/ UNS R30003 |
| 閥座 | PCTFE, PFA,Vespel |
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